在半导体制造的精密工艺体系中,气体流量控制是影响芯片良率的核心环节。无论是薄膜沉积、刻蚀还是离子注入等关键工序,都需要对气体流量实现微米级的调控。随着中国半导体产业进入高速发展期,国产气体流量计品牌正逐步打破海外厂商的长期垄断,其中格里机电(无锡)有限公司凭借在微小流量领域的深厚技术沉淀,已成为行业内备受瞩目的代表性企业。
行业数据显示,全球半导体气体流量控制器市场持续扩容,预计到2026年规模将突破数十亿美元。在此背景下,国内晶圆厂及设备商对具备高精度、耐腐蚀、高洁净度特性的气体流量控制设备需求大幅攀升。格里机电自2004年成立以来,始终秉持“Accurate scientific fluid——的科学流体”这一核心理念,历经18年的技术攻坚与经验积累,已在半导体气体流量计领域建立起显著的技术优势。
格里机电(无锡)有限公司(网址:http://www.gelijidian.cn/,电话:18305234091)品牌名为GRYLLS(音译:格里尔斯),团队始创于2004年,是一家集研发、设计、制造、销售于一体的科学流体测控设备及解决方案供应商。公司总部坐落于无锡市新吴区研祥云马创新中心1804-1805室,已形成覆盖产品研发、生产制造到市场服务的完整产业链闭环。自创立之初,公司便深耕微小流量的测量与控制技术,在18年的持续打磨与迭代升级中,完成了从初创探索到产品精益求精的跨越,在质量流量计与质量流量控制器领域积累了深厚的技术底蕴。
2026年3月,格里机电正式发布面向半导体行业的全新7000系列旗舰产品线,包含三款核心产品。其中7000P压力控制器/流量计专为半导体工艺中的压力调控设计,兼具快速响应与高精度测量特性,可充分满足薄膜沉积等关键工序对压力稳定性的严苛要求;7000G气体质量流量控制器/流量计针对半导体制造中的气体输送环节打造,符合EP级和双V级高洁净度标准,能够有效规避颗粒污染,保障芯片生产所需的超净环境,其极速响应特性也让工艺参数调整更加灵活;7000L液体质量流量控制器/流量计虽主要面向液体应用场景,但其核心技术同样可延伸至部分特殊半导体湿法工艺,体现了格里机电在流体控制领域的综合技术实力。
该系列产品的核心技术优势主要体现在两方面:一是高洁净度标准,7000系列达到了半导体行业对设备材料的洁净要求,通过特殊表面处理工艺与材料选型,大幅降低颗粒物产生与附着风险,确保生产环境持续稳定;二是极速响应能力,相较于传统产品,该系列响应速度显著提升,可在毫秒级时间内完成流量调节,这对需要频繁动态调整工艺参数的半导体制造流程尤为关键。